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ICP光譜儀是上世紀60年代提出、70年代迅速發展起來的，它的迅速發展和廣泛應用是與其克服了經典光源和原子化器的局限性分不開的，那么ICP光譜儀的目標元素都有哪些呢？下面小編就來介紹一下：
ICP光譜儀軟質樣品（例如：銅、鋁、鋅、鉛）必須車削表面或用酒精濕磨.磨好的表面一定不要玷污（例如用手觸摸）.考慮到金屬熱漲冷縮效應,會影響光線穩定性.溫度變化會影響儀器的熱平衡,對接收器和一些電器件會造成不穩定,若溫差較大對光路也會有影響.
ICP光譜儀對于鋼和鑄鐵（顆粒大小,對鋼是60到80之間,對鑄鐵是40到60之間）,建議用適合于本儀器樣品的砂紙干磨.砂紙一定不要被高合金含量的樣品污染（例如：應該先用于低合金樣品，再用于高合金樣品）.樣品必須在清潔的、規范的砂紙上磨（沒有先前激發處理留下的激發的痕跡）.樣品表面不能被拋光（適時更新用過的砂紙）.必須確保樣品在磨的過程中沒有過熱（樣品應該與砂紙只有短暫的接觸）。如果需要，樣品應該用水冷卻，再干燥，再盡可能短的時間干磨.
ICP光譜儀可用標樣中目標元素的“真實濃度”與分析線對和強度比（R）擬合工作曲線（校準曲線）。如果鐵含量變化過大，如高、中合金鋼，其影響不可忽略，需要用標樣中目標元素的“相對濃度”（或“濃度比”）與分析線對和強度比（R）擬合工作曲線，這就是我國光譜分析的前輩講的“誘導含量法”。如果希望用同一工作曲線同時分析高、中、低合金鋼，那就都要用“相對濃度”來校正基體含量的影響。更進一步，如果既要校正基體含量的影響，又要校正共存元素的干擾，就應該用“表觀濃度”來擬合工作曲線。
ICP光譜儀雖然本身測量準確度很高，但測定試樣中元素含量時， 所得結果與真實含量通常不一致，存在一定誤差，并且受諸多因素的影響，有的材料本身含量就很低。
